Forschung im Zwergenreich

- Mit dem Kleinstkosmos beschäftigt sich der neue bayerische Forschungsverbund für Nanoelektronik (FORNEL), der am 1. Juli seine Arbeit aufgenommen hat. Ziel der Nanoforscher ("nanos" griech. Zwerg) ist es, neue Nanostrukturen, Nanobauelementen und -schaltungen zu entwickeln.

<P>Da sich alle 18 Monate die Anzahl der elektronischen Bauelemente pro Speicherchip verdoppelt, werden immer kleinere und leistungsfähigere elektronische Kapazitäten benötigt. "Hier stößt die herkömmliche Siliziumtechnologie im Mikroelektronikbereich an ihre Grenzen", erklärt Professor Heiner Ryssel, Sprecher von FORNEL vom Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente der Uni Erlangen (LEB). Die Strukturen, mit denen die Nanoforscher arbeiten, sind extrem klein. Ein Nanometer ist der millionste Teil eines Millimeters: das entspricht dem Größenverhältnis zwischen einem Fußball und der Erde. </P><P>An FORNEL sind neben der Uni Erlangen die TU München, die Münchner Uni der Bundeswehr, die Uni Würzburg und das Fraunhofer für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie beteiligt. Sie arbeiten eng mit der bayerischen Halbleiterindustrie zusammen. "Es geht nicht nur darum, Nanostrukturen zu entwickeln, sie müssen auch kompatibel zu der vorhandenen Technologie sein", erklärt Bernd Fischer vom LEB. Zudem spielen im Nanobereich Molekül-Interaktionen und Quantenmechanik eine Rolle, "die ebenfalls harmonierende Materialien erfordern", so Fischer. Im "Reinraum", dem Arbeitsplatz der Nanoforscher, werden dünnste Siliziumscheiben in einem Vertikalofen, der Nanostrukturen gleichmäßig bearbeiten kann, chemisch oxidiert. </P><P>Praktische Verwendung findet die "Zwergen-Technologie" in Speicherchips von Digitalkameras, Mobiltelefonen, Computern und Produktionsmaschinen der Industrie. "Mit FORNEL soll eine Vernetzung zwischen nanoelektronischer Forschung und einschlägiger Industrie hergestellt werden. Dadurch wird der Technologiestandort Bayern unterstützt und gefördert", so Ryssel. </P>

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